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关于暴露仓出现静电的危害

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发布日期:2018-02-27 11:22:42

  1、静电库仑力

在静电库仑力的效果下,吸附的粉尘、污物构成元器材增大走漏或构成短路,使暴露仓功能受损,成品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径>100μm,铝线宽度约100μm,氧化膜厚度在50μm时,最易使产品作废。现在线径更细,氧化膜很薄,粒径很小的尘粒子就会危害元器材,这种景象多发作在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。

2、静电放电

(1)元器材的绝缘氧化膜被击穿,引线被烧断或线间熔断。若人体带上10KV(100PF)的静电荷,接触器材脚时发作ESD,其向大地瞬间构成脉冲放电电流峰值可达20A(10~100s),不要说高密度,细线径,薄SiO2膜的Lsi、Vlsi,就是一般IC、MOS都会遭受损坏。

一般说器材绝缘栅SiO2薄膜的耐压场强是E=(5-10)×106V/cm,如果器材SiO2膜厚度取1000,其器材输入脚施加50V-100V以上的静电压就将会被击穿,而人体带静电超越50V、100V是极往常的。

(2)构成噪声、发射电磁波搅扰!

ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖,信号强,相当于电路中几伏的能量,频率跨越几MH2甚几百MH2的强壮噪声,可能引起元器材损坏,设备和传感器不正常作业,甚至引起暴露仓设备死机。

ESD引起的EMI还会引发过错信号的输入,或发作锁存现象。如无尘室中,将晶圆片的EMIF箱放在钢的手推车上,晶圆片的ESD会通过电感传给手推车,车轮是绝缘的,则EMI的分散会引起晶圆片处理机死机。

 

 

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